Obszary zastosowań materiałów docelowych tantalu

Stosowany głównie w fizycznym osadzaniu z fazy gazowej i innych procesach, podczas procesu napylania atomowego atomy na powierzchni tarczy tantalowej są bombardowane i osadzane w postaci cienkiej warstwy na podłożu w celu uzyskania pożądanego materiału cienkowarstwowego.
Temperatura topnienia tantalu wynosi aż 2996 stopni, co pozwala tarczom tantalowym zachować dobrą stabilność strukturalną w-środowiskach rozpylania wysokotemperaturowego i nie ulega łatwemu odkształceniu ani odparowaniu. Gęstość wynosi zwykle powyżej 16,6 g/cm 3, co może zmniejszyć problemy z pękaniem lub deformacją podczas rozpylania katodowego, jednocześnie redukując rozpryskiwanie cząstek i poprawiając jakość folii. W temperaturze napylania nie jest łatwo lotny, co zapewnia minimalną utratę materiału docelowego podczas procesu napylania i zapewnia stabilne atomy tantalu do osadzania cienkowarstwowego.
Właściwości chemiczne tantalu są bardzo stabilne i prawie nie reaguje z innymi kwasami z wyjątkiem kwasu fluorowodorowego i gorącego stężonego kwasu siarkowego. Może być również używany przez długi czas w trudnych warunkach chemicznych, a wykonana z niego folia tantalowa ma również dobrą odporność na korozję. Powierzchnia tantalu jest podatna na tworzenie gęstej i stabilnej warstwy pasywacyjnej tlenku tantalu, która może skutecznie zapobiegać dalszej korozji utleniającej i poprawiać żywotność materiału.
Pole aplikacji
W produkcji układów scalonych materiały tarcz tantalowych wykorzystuje się do przygotowania warstw bariery dyfuzyjnej, zapobiegania dyfuzji miedzianych połączeń wzajemnych do podłoża krzemowego, poprawiania niezawodności i wydajności urządzeń, a także mogą być stosowane jako materiały na bramki lub części metalowych bramek w tranzystorach MOSFET, a także jako elektrody kondensatorów w-urządzeniach pamięci o dużej gęstości, takich jak DRAM.
Przy produkcji wyświetlaczy ciekłokrystalicznych (LCD) i organicznych-diod elektroluminescencyjnych (OLED) tarcze tantalowe wykorzystuje się do przygotowania elektrod i warstw okablowania tranzystorów cienkowarstwowych (TFT). Ich stabilność i przewodność pomagają poprawić jakość wyświetlania. Ponadto można je również stosować jako cienkowarstwowe warstwy kapsułkujące w diodach OLED, aby przedłużyć żywotność urządzenia.
Stosowane do przygotowywania folii optycznych, takich jak powłoki lub filtry antyrefleksyjne, folie tantalowe-o wysokiej czystości mają jednolity współczynnik załamania światła i dobrą trwałość, dzięki czemu nadają się do precyzyjnych instrumentów optycznych, takich jak obiektywy aparatów i urządzenia laserowe. W środowiskach chemicznych, naftowych, morskich i innych-powłoki antykorozyjne przygotowane z docelowych materiałów tantalowych mogą skutecznie chronić sprzęt, rurociągi i kontenery przed korozją.