Aby oddziaływać jonami argonu (Ar) na powierzchnię targetu podczas powlekania próżniowego, wykorzystuje się przede wszystkim wyładowanie jarzeniowe.
Atomy materiału docelowego są wyrzucane i gromadzą się na powierzchni podłoża, tworząc cienką warstwę. Charakterystyka i jednorodność napylanej folii są lepsze niż w przypadku folii naparowanej, ale prędkość jej powlekania jest znacznie mniejsza. Większość nowoczesnych urządzeń do napylania wykorzystuje silne magnesy przyspieszające jonizację argonu wokół celu poprzez spiralne elektrony.
zwiększa prawdopodobieństwo zderzenia tarczy z jonami argonu,
Zwiększ szybkość rozpylania. Ogólnie rzecz biorąc, rozpylanie DC jest stosowane głównie w przypadku powłok metalowych, podczas gdy rozpylanie RF AC jest stosowane w przypadku nieprzewodzących materiałów ceramicznych. Podstawową ideą jest wykorzystanie wyładowania jarzeniowego w próżni.
wyładowanie) Kationy w plazmie przyspieszają do powierzchni elektrody ujemnej, gdy napylony materiał, gdy jony argonu (Ar) uderzają w powierzchnię docelową. W wyniku tego uderzenia materiał docelowy wyleci i osadzi się na podłożu. Film. Ogólnie rzecz biorąc, zastosowanie techniki napylania do powlekania filmem obejmuje następujące cechy:
(1) Materiał filmowy może być wykonany z metalu, stopu lub izolatora.
(2) W odpowiednich warunkach można zastosować wiele złożonych celów, aby utworzyć cienką warstwę o tym samym składzie.
(3) Materiał tarczy i cząsteczki gazu można mieszać lub łączyć poprzez dodanie tlenu lub innych gazów aktywnych do atmosfery wyładowczej.
(4) Wysoką precyzyjną grubość folii można łatwo uzyskać kontrolując docelowy prąd wejściowy i czas rozpylania.
(5) Bardziej nadaje się do tworzenia jednorodnych folii o dużej powierzchni w porównaniu z innymi metodami.
(6) Pozycje celu i podłoża można dowolnie konfigurować, a na rozpylane cząstki zasadniczo nie ma wpływu grawitacja.
(7) Ponieważ napylone cząstki niosą ze sobą wysoką energię, będą nadal rozpraszać się na powierzchni tworzącej błonę, tworząc mocną i gęstą powłokę. Siła przyczepności pomiędzy podłożem a folią jest ponad 10 razy większa niż w przypadku zwykłej folii do osadzania z fazy gazowej. Jednocześnie podłoże wymaga niewielkiej ilości energii, ponieważ w niższych temperaturach może wytworzyć się skrystalizowana folia.
(8) Wysoka gęstość zarodkowania na wczesnych etapach tworzenia błony może skutkować ultracienkimi ciągłymi błonami o grubości mniejszej niż 10 nm. (9) Materiał tarczy może być wytwarzany automatycznie i w sposób ciągły przez długi czas i ma długie życie.
(10) Materiał docelowy może przybierać różne kształty dzięki unikalnej konstrukcji maszyny, która pozwala na większą kontrolę i najbardziej
