Ponieważ molibden ma właściwości wysokiej temperatury topnienia, wysokiej przewodności elektrycznej, niskiej impedancji właściwej, dobrej odporności na korozję i ochrony środowiska,cele molibdenowesą szeroko stosowane w przemyśle elektronicznym, takie jak elektrody do płaskich wyświetlaczy, cienkowarstwowe ogniwa słoneczne i akcesoria. Informacje liniowe, teraz niech Xiaobian i ty wiesz o charakterystyce celów molibdenowych w produktach wolframowych i molibdenowych.
1. Cel molibdenu o wysokiej czystości
Ogólnie rzecz biorąc, czystość celu rozpylania molibdenu powinna wynosić co najmniej 99,95 procent. Jednak w związku z ciągłym ulepszaniem wielkości podłoży szklanych w przemyśle LCD oraz w zależności od wielkości napylanych podłoży szklanych i środowiska aplikacji, wymagana jest czystość celów do napylania katodowego molibdenu na poziomie 99,99 procent -99. 999 procent lub nawet więcej.
2. Cel molibdenowy o dużej gęstości
W procesie powlekania napylającego, gdy bombardowany jest cel napylania o niskiej gęstości, z powodu nagłego uwolnienia gazu istniejącego w porach materiału docelowego, cząstki celu lub cząstki o dużej skali tworzą się w celu rozpryskiwania lub materiał folii jest ulega wtórnym uszkodzeniom po utworzeniu filmu. Wtórne bombardowanie elektronami tworzy plamę cząstek, których obecność może pogorszyć jakość filmu. W celu zmniejszenia porów w materiale stałym materiału tarczy i poprawienia działania błony, na ogół wymagana jest większa gęstość materiału tarczy do napylania katodowego.
3. Wielkość ziarna
Ogólnie tarcza do rozpylania molibdenu ma strukturę polikrystaliczną, a wielkość ziarna może wahać się od mikrometrów do milimetrów. Badania eksperymentalne wykazały, że szybkość napylania celu z ziarnami molibdenu w skali mikro jest większa niż w przypadku ziarna gruboziarnistego, a cel z mniejszą różnicą w wielkości ziaren molibdenu ma bardziej równomierny rozkład grubości osadzonej warstwy.
4. Kierunek krystalizacji
Ponieważ atomy celu są po prostu rozpylane w kierunku sześciokątnego ścisłego układu atomów podczas rozpylania, w celu osiągnięcia szybkości rozpylania, często zwiększa się szybkość rozpylania przez zmianę struktury krystalicznej celu. Kierunek krystalograficzny tarczy ma również duży wpływ na jednorodność grubości napylonej warstwy. Dlatego uzyskanie docelowej struktury o określonej orientacji krystalograficznej ma kluczowe znaczenie dla procesu napylania cienkich warstw.
5. Przewodność cieplna
Producenci wyrobów z wolframu i molibdenu informują, że tarcza do napylania molibdenu musi być podłączona do obudowy z miedzi beztlenowej (lub innych materiałów, takich jak aluminium) przed napylaniem katodowym, aby zapewnić przewodność cieplną między tarczą molibdenową a obudową podczas proces rozpylania. Po związaniu konieczne jest przejście kontroli ultradźwiękowej, aby upewnić się, że niezwiązany obszar tych dwóch jest mniejszy niż 2 procent, aby spełnić wymagania rozpylania o dużej mocy bez upadku.
6. Docelowa wydajność molibdenu
Czystość: czysty molibden Większy lub równy 99,95 procent, molibden wysokotemperaturowy Większy lub równy 99 procent (dodać pierwiastki ziem rzadkich)
Gęstość: większa lub równa 10,2 g/cm3
Temperatura topnienia: 2610 stopni
Dane techniczne: okrągły cel, tarcza tarczowa, tarcza obrotowa
Odpowiednim środowiskiem dla celu molibdenowego produkowanego przez Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. jest środowisko próżniowe lub środowisko chroniące przed gazem obojętnym. Czysta zawartość molibdenu w dostarczanych przez nas produktach molibdenowych jest wysoka, odporność na wysoką temperaturę wynosi 1200 stopni, a odporność na wysoką temperaturę stopu molibdenu wynosi 1700 stopni. Cele molibdenowe produkowane przez naszą firmę charakteryzują się wysoką jakością, rozsądną ceną i szybką dostawą.
