Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. specjalizuje się w badaniach i produkcjicele rozpylania tantalui próżniowe materiały do powlekania. Ponieważ tantal ma zdolność tworzenia warstw tlenkowych i ma działanie ochronne, cele tantalowe są szeroko stosowane jako podłoża do produkcji kondensatorów elektrolitycznych. Tym razem wprowadzono zastosowanie celów rozpylania tantalu w dziedzinie mikroelektroniki.
Tarcze tantalowe do zastosowań z termicznymi głowicami atramentowymi
Termiczne głowice atramentowe mogą być stosowane w produkcji cienkowarstwowych układów scalonych, co ułatwia stosowanie celów tantalowych. W procesie produkcji obwodów scalonych rezystory cienkowarstwowe są używane do szybkiego podgrzewania warstwy tuszu o gęstości energii bliskiej 1,28E9 watów/m2, dzięki czemu niektóre bardzo małe tusze odparowują, tworząc rozszerzone pęcherzyki, które w rzeczywistości są małe krople atramentu są wyrzucane. . Ponieważ atramenty wysokotemperaturowe mogą powodować kawitację w niektórych urządzeniach do druku atramentowego, zastosowanie folii antykawitacyjnych z tantalu może chronić instalacje atramentowe.
Tarcze tantalowe do powlekania miedzią
Cienkie folie tantalowe mają oczywiste zalety w procesie produkcji układów scalonych. Jednym z głównych postępów w stosowaniu celów napylania tantalowego jest zastosowanie powlekania miedzią. Do formowania miedzi nie można stosować masek fotorezystywnych ani technik wytrawiania plazmowego, ponieważ miedź znajduje się w warunkach niskotemperaturowego trawienia plazmowego. Nie tworzą się pożądane składniki lotne. Ogólnie rzecz biorąc, wysoka przewodność materiałów miedzianych sprawia, że konieczne jest całkowite odizolowanie miedzi przez folię barierową. Jednakże, jeśli warstwa barierowa jest zbyt gruba, traci się zalety wysokiej przewodności połączeń miedzianych. Dlatego ważne jest, aby osadzanie warstewki barierowej w schemacie powlekania miedzią miało dobre pokrycie stopni i zmniejszone występy w pustkach przelotowych/wykopów. Zastępując 0.10um miedziane układy scalone, folie barierowe PVD z tantalu i tlenku azotu wykazują pewne unikalne zalety, takie jak dobra dyfuzja miedzi i dobra adhezja do elektrolitów i miedzi.
The99,98 procent celów z tantaluprodukowane przez Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. są często używane jako części grzewcze, części termoizolacyjne i pojemniki załadowcze do wielkich pieców próżniowych. Tarcze tantalowe produkowane przez naszą firmę nie mogą być wykorzystywane jako substraty w przemyśle chemicznym. , przemysł lotniczy, sprzęt medyczny i inne dziedziny.
