Jakie są rodzaje materiałów docelowych – część pierwsza

Jakie są materiały docelowe?

Target jest w rzeczywistości szerokim pojęciem. Istnieją trzy sposoby klasyfikowania materiałów target:

1. Według wymiarów zewnętrznych można podzielić na cele cylindryczne, prostokątne, kwadratowe płyty i cele rurowe. Według materiału materiały docelowe można podzielić na cele metalowe, cele polimerowo-ceramiczne, cele niemetaliczne i cele stopowe itp.;

2. Ze względu na materiał, materiały docelowe można podzielić na konwencjonalne cele metalowe, cele z metali szlachetnych, cele z metali ziem rzadkich, cele niemetaliczne, cele rozpylania stopowego, cele rozpylania ceramicznego itp.;

3. Ze względu na obszar zastosowania można je podzielić na cele dla półprzewodników, cele dla paneli wyświetlaczy, cele dla ogniw słonecznych, cele dla zapisu magnetycznego itp.

Klasyfikacja według kształtu celu

Typowe cele to głównie cele kwadratowe i cele okrągłe, które są celami litymi. Podczas operacji powlekania pole magnetyczne generowane przez okrągły magnes trwały na powierzchni celu jest pierścieniowe, wystąpi nierównomierna erozja, jednorodność grubości rozpylonej warstwy nie jest dobra, a wydajność wykorzystania celu wynosi tylko około 20% do 30%. Obecnie promowany cel w postaci pustej rurki może obracać się wokół stałego zespołu magnesów prętowych przez określony czas, a powierzchnia celu 360 stopni może być równomiernie wytrawiona, co ma oczywiste zalety i zwiększa wskaźnik wykorzystania do 80%.

Klasyfikacja według materiału docelowego

Tradycyjne cele metalowe: