Istnieje wiele rodzajów celów napylania, wymagania dotyczące wysokiej czystości i szeroki zakres branż zastosowań. Dzisiaj porozmawiamy o czterech typach celów rozpylania powszechnie stosowanych w czterech polach, celach z aluminium o wysokiej czystości, celów z tytanu, celów tantalowych i celów wolframowych. Tytanowy cel. Obszary, które obejmują, obejmują płaskie wyświetlacze panelowe, półprzewodniki, akumulatory i ogniwa słoneczne.
Cel aluminiowy (czystość zapasów 99,99 procent - 99,999 procent)
Aluminium o wysokiej czystości i jego stopy są jednymi z najczęściej stosowanych materiałów przewodzących cienkowarstwowych. W swojej dziedzinie zastosowania produkcja chipów VLSI wymaga napylania metali docelowych o bardzo wysokiej czystości, zwykle sięgającej 99,9995 procent, podczas gdy płaskie wyświetlacze panelowe i ogniwa słoneczne mają nieco niższą czystość metalu.
Cel tytanowy (czystość zapasów 99,99 procent - 99,999 procent)
Tytan jest jednym z powszechnie stosowanych materiałów barierowych w chipach VLSI (odpowiednim materiałem warstwy przewodzącej jest aluminium). Tytanowa tarcza zostanie użyta z tytanowym pierścieniem podczas pre-chip produkcji. Główną funkcją jest wspomaganie procesu rozpylania celów tytanowych, który jest używany głównie w dziedzinie produkcji układów scalonych na bardzo dużą skalę.
Tarcza tytanowo-wolframowa (czystość surowca 99,95 procent)
Stopy wolframowo-tytanowe mają niską ruchliwość elektronów, stabilne właściwości termomechaniczne, dobrą odporność na korozję i dobrą stabilność chemiczną. W ostatnich latach tarcze do napylania ze stopu wolframu i tytanu stosowano jako materiały warstwy kontaktowej w obwodach bramkowych chipów półprzewodnikowych. Ponadto tarcze wolframowe i tytanowe można również stosować jako warstwy barierowe w metalowym połączeniu urządzeń półprzewodnikowych. Do środowisk o wysokiej temperaturze, głównie do vlsI i ogniw słonecznych.
Cel tantalowy (czystość zapasu 99 procent, 99,5%, 99,9 procent, 99,995 procent, 99,99 procent, 99,995 procent 99,999 procent)
Wraz z gwałtownym wzrostem popytu na produkty elektroniki użytkowej, takie jak smartfony i tablety, zapotrzebowanie na wysokiej klasy chipy znacznie wzrosło, a tantal stał się popularnym surowcem mineralnym. Jednak niedobór zasobów tantalu powoduje, że cele z tantalu o wysokiej czystości są drogie, które są wykorzystywane głównie w układach scalonych na dużą skalę i innych dziedzinach.
Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. jest przedsiębiorstwem high-tech specjalizującym się w produkcji i sprzedażyrozpylanie tantalowych celóworaz ogniotrwałe materiały z metali nieżelaznych. Produkty są szeroko stosowane w przemyśle naftowym, chemicznym, elektronicznym, rękodzieła, produkcji maszyn, sprzętu medycznego i innych dziedzinach. Produkty są eksportowane do krajów w kraju i za granicą.
