Tarcza do rozpylania tantalu o wysokiej czystości

In recent years, with the rapid development of the electronic information industry, sputtering targets for integrated circuits have also been greatly developed. Among the metal targets used to manufacture semiconductor chips, common sputtering targets are non-ferrous metals such as Ta Ti Al Co and Cu. Among them, the largest amount of metal sputtering targets for integrated circuit manufacturing is ultra-high purity aluminum (>99,999%) i cele ze stopu aluminium o bardzo wysokiej czystości, a cel tytanowy o bardzo wysokiej czystości używany do napylania warstwy barierowej jest celem z tytanu o bardzo wysokiej czystości. W przypadku LSI elektromigracja połączeń metalowych jest jednym z głównych mechanizmów uszkodzeń. Przy dużej gęstości prądu drut aluminiowy jest podatny na elektromigrację, co powoduje powstawanie wypukłości i pustych przestrzeni w aluminiowej folii łączącej, zmniejszając w ten sposób sprawność operacyjną i niezawodność układów scalonych. Rezystywność Cu jest o około 35 procent niższa niż Al, a odporność na elektromigrację jest również silna; Wraz z rozwojem układów scalonych na dużą skalę, stopień integracji staje się coraz wyższy i stawiane są wyższe wymagania techniczne dotyczące wytwarzania celów napylania dla warstw międzyliniowych i barierowych, w głębokim procesie submikronowym (mniejszy lub równy 018um), miedź będzie stopniowo zastępować aluminium jako materiał do metalizowanego okablowania na płytkach krzemowych, cele z miedzi o ultrawysokiej czystości mogą być częściej używane, a odpowiednie napylanie męskiej bariery jest celem tantalowym o wysokiej czystości.

Wraz ze wzrostem ilości celu tantalowego o wysokiej czystości jako materiału powłoki barierowej napylania, jego wymagania dotyczące wydajności docelowej również stają się coraz wyższe, takie jak coraz większy rozmiar celu rozpylania, drobniejsza i bardziej jednorodna mikrostruktura itp. Dlatego stopniowo uwagę przykuwają badania nad procesem przygotowania celów napylania. Obecnie proces przygotowania celu napylania tantalu o wysokiej czystości obejmuje głównie metodę wytapiania i odlewania oraz metodę metalurgii proszków:

1. Przygotowanie celu napylania o wysokiej czystości metodą wytapiania i odlewania

Metoda wytapiania i odlewania jest obecnie główną metodą przygotowania tarcz do napylania tantalowego, generalnie surowce tantalowe są przetapiane (wiązka elektronów lub łuk, topienie plazmowe itp.) kucie, a uzyskane wlewki lub półwyroby są wielokrotnie kute na gorąco, wyżarzane, a następnie zwijany, wyżarzany i wykańczany do celu. Wlewki lub półwyroby są kute na gorąco w celu zniszczenia struktury odlewu, tak że pory lub segregacja dyfundują, znikają, a następnie rekrystalizują je przez wyżarzanie, poprawiając w ten sposób zagęszczenie i wytrzymałość tkanki.

Aby zapewnić, że cel może napylać wysokiej jakości filmy, na ogół istnieją wysokie wymagania dotyczące celów napylania tantalem, a im wyższa czystość materiału docelowego, tym lepsza jakość filmu.

2. Przygotowanie celu rozpylania tantalu o wysokiej czystości za pomocą metalurgii proszków

Metody przygotowania celów tantalowych o wysokiej czystości za pomocą metalurgii proszków obejmują głównie prasowanie na gorąco, prasowanie izostatyczne na gorąco, izostatyczne spiekanie próżniowe na zimno itp. Obecnie bardziej powszechną metodą celu rozpylania tantalu w metalurgii proszków jest głównie prasowanie na gorąco i metoda prasowania izostatycznego na gorąco , poprzez azotowanie powierzchni proszku metalowego, można uzyskać proszek tantalu o zawartości tlenu poniżej 300 mg/kg i zawartości azotu poniżej 10 mg/kg, a następnie załadować go do formy, a następnie formować na zimno i prasować izostatycznie na gorąco lub inne metody spiekania, czystość 99,95 procent lub więcej, średnia wielkość ziarna jest mniejsza niż 50 μm, a nawet 10 μm, tekstura jest losowa, a cel tantalu o jednolitej teksturze wzdłuż powierzchni i grubości celu.

Popularne Tagi: cel rozpylania tantalu o wysokiej czystości, dostawcy, producenci, fabryka, dostosowane, kup, cena, wycena, jakość, na sprzedaż, w magazynie