Materiał tarczy ma szeroki zakres zastosowań, szerokie możliwości rozwoju rynku i doskonałe zastosowania w wielu dziedzinach. Aby przyspieszyć jonizację argonu otaczającego tarczę i zwiększyć prawdopodobieństwo zderzenia tarczy i jonów argonu, prawie wszystkie nowoczesne urządzenia do rozpylania wykorzystują silne magnesy do przemieszczania elektronów ruchem spiralnym.
Zwiększ szybkość przeciągania. Podczas gdy nieprzewodzące materiały ceramiczne zwykle wykorzystują rozpylanie RF AC, warstwy metalowe zwykle wykorzystują rozpylanie DC. Podstawową ideą jest oddziaływanie jonów argonu (Ar) na cel za pomocą wyładowania jarzeniowego w próżni. Kationy plazmy będą wyrzucać materiał na powierzchnię elektrody ujemnej, gdy tam przyspieszają. Materiał docelowy wyleci po zetknięciu i osadzi się na podłożu, tworząc cienką warstwę.
Ogólnie rzecz biorąc, zastosowanie metody napylania do powlekania folią ma następujące cechy:
(1) Substancję filmową można utworzyć z metalu, stopu lub izolatora.
(2) W odpowiednich okolicznościach do utworzenia cienkiej warstwy o tym samym składzie można zastosować wiele złożonych celów.
(3) Materiał tarczy i cząsteczki gazu można mieszać lub łączyć, wprowadzając tlen lub inne aktywne gazy do atmosfery wyładowczej.
(4) Wysoką precyzyjną grubość folii można łatwo uzyskać kontrolując docelowy prąd wejściowy i czas rozpylania.
(5) Bardziej nadaje się do tworzenia jednolitych folii o dużej powierzchni w porównaniu z innymi metodami.
(6) Lokalizacje celu i podłoża można dowolnie rozmieszczać, a na rozpylające cząstki zasadniczo nie ma wpływu grawitacja.
