Materiał docelowy ma szeroki rynek, różnorodne przydatne zastosowania i obiecującą przyszłość. Omówmy szybko podstawowe wymagania dotyczące wydajności materiału docelowego, abyś mógł lepiej zrozumieć działanie materiału. Mam szczerą nadzieję, że będzie dla Was przydatny.
Czystość: Ponieważ czystość tarczy ma znaczący wpływ na działanie folii, czystość jest jedną z głównych miar wydajności tarczy. Kryteria czystości materiału tarczy różnią się jednak w zastosowaniach praktycznych. Na przykład wielkość krzemu Długość płytek wzrosła z 6′′, 8′′ do 12′′ w związku z szybkim rozwojem przemysłu mikroelektroniki, a szerokość okablowania wzrosła z 0,5um do 0.25um, 0 .18um, a nawet 0.13um, poprzednio 99. Docelowa czystość wynosząca 995% może spełnić wymagania procedury 0.35umIC, podczas gdy do przygotowania 0.18um potrzebne jest 99 linia.99,9999% lub nawet 999%.
Zawartość zanieczyszczeń: Głównymi źródłami zanieczyszczeń osadzonej warstwy są zanieczyszczenia w docelowej substancji stałej oraz tlen i para wodna w porach. Zróżnicowane cele z różnych powodów wymagają zróżnicowanej zawartości zanieczyszczeń. Na przykład sektor półprzewodników ma określone normy dotyczące stężenia pierwiastki promieniotwórcze i metale alkaliczne w tarczach wykonanych z czystego aluminium i jego stopów.
Gęstość: Zwykle wymaga się, aby materiał docelowy miał większą gęstość, aby zmniejszyć pory w ciele stałym i zwiększyć funkcjonalność napylanej folii. Gęstość materiału docelowego wpływa również na właściwości elektryczne i optyczne folii, oprócz szybkości rozpylania. Wydajność folii wzrasta wraz z gęstością docelową. Zdolność materiału docelowego do przetrwania naprężenia cieplnego podczas procesu napylania jest również poprawiona poprzez zwiększenie jego gęstości i wytrzymałości. Jednym z głównych mierników wydajności tarczy jest gęstość.
