Cel rozpylania Ta

1. Wymiary: średnica 50-400 mm X grubość 3-28 mm
2. Stopień: R05200 R05400 R05252 (Ta-2.5W) R05255 (Ta-10W)
3. Czystość: większa lub równa 99,95% (maksymalnie 99,99%)
4. Rekrystalizacja: minimum 95%
5. Wielkość ziarna: minimum 40um
6. Chropowatość powierzchni: maksymalna Ra0.4
7. Płaskość:0,1 mm lub maksymalnie 0,10%
8. Tolerancja: średnica +/-0.254 mm

Wyślij zapytanie

Wprowadzenie produktów

Proces produkcji docelowego napylania tantalu metalicznego Yusheng
Docelowe produkty Yusheng Metal do napylania tantalu są przetwarzane z wlewków tantalu przy użyciu procesów bombardowania elektronami EB, walcowania i wyżarzania. Cele utworzone w tym procesie mają jednolitą strukturę kryształu, teksturę i rozkład energii, a także dobrą strukturę wewnętrzną.

W ostatnich latach skala przemysłu układów scalonych (układów scalonych) stale się powiększa, a technologia przetwarzania chipów również rozwinęła się w kierunku dużej gęstości. Tantal jest często stosowany jako materiał do powlekania metodą napylania w warstwie bariery dyfuzyjnej w procesie łączenia miedzi ze względu na jego dużą stabilność chemiczną. Jednolita mikrostruktura tarcz do napylania tantalu ma bezpośredni wpływ na wydajność napylania.

Tantalum targets require fine and uniform grains, randomly dispersed grain orientation, and excellent film manufacturing performance. However, due to the properties of tantalum, a microstructure can easily form during cold working with a core orientation of 111 (111>/ND) and a surface orientation of 100 (100>/ND). Podczas wytwarzania cienkich folii prędkość napylania zmienia się w zależności od docelowej grubości, co wpływa na stabilność procesu napylania.

Zasada celu rozpylania Ta

Tantal jest często stosowany w produkcji kondensatorów elektrolitycznych ze względu na jego zdolność do tworzenia cienkich tlenków i ochronny charakter warstwy tlenku. Odparowanie stosowano na wczesnych etapach osadzania tantalu, ale gdy pod koniec lat sześćdziesiątych XX wieku techniki fizycznego osadzania z fazy gazowej, takie jak powlekanie przez napylanie katodowe, stały się lepszymi metodami osadzania cienkowarstwowego, zastąpiły one odparowanie.

W procesie fizycznego osadzania z fazy gazowej zjonizowane atomy argonu wykorzystują mechanikę elektromagnetyczną do uderzania w cel, powalając atomy metalu, a atomy metalu są osadzane na podłożu, tworząc cienką warstwę.

tarcza napylająca tantal

tarcza tantalowa

Sprzęt do produkcji metalu Yusheng

Yusheng Metal posiada kompletny zestaw systemów badań naukowych, produkcji, testowania, sprzedaży i usług, od wytapiania, kucia, walcowania na gorąco, walcowania na zimno, wykańczania i gotowych materiałów. Posiada elektroniczny piec do bombardowania typu East o mocy 350 kW, prasę hydrauliczną o nacisku 2000 T, piec do wyżarzania próżniowego 1700 mm, jedną maszynę do kucia precyzyjnego o mocy 42 kW i dwie maszyny do kucia precyzyjnego o mocy 15 kW, 14 walcarek do wykańczania taśm, LDD120, LDD-40, LDD{{8} }, LDD-8 dwuliniowa walcarka do rur, 2-walca do wykrawania 500T, 4 walcarki na zimno, 6 walcarek na zimno Maszyna, dwustronna ciągarka drutu o mocy 15 kW, szlifierka cylindryczna, obieraczka, szlifierka do płaszczyzn i szereg urządzeń.

product-1477-390

product-1447-391

product-1446-408

Zastosowanie tarczy do napylania tantalu

Materiał docelowy do napylania tantalu jest wykonany z arkuszy tantalu poddanych obróbce ciśnieniowej i charakteryzuje się wysoką czystością, drobnymi ziarnami, dobrą strukturą rekrystalizacyjną i dobrą konsystencją w trzech osiach.
Cele napylania tantalu są szeroko stosowane w przemyśle optoelektronicznym i półprzewodników. Stosowane są głównie do napylania powłok katodowych, materiałów aktywnych zasysających w wysokiej próżni, włókien optycznych, płytek półprzewodnikowych, układów scalonych itp. Stanowią ważną część technologii cienkowarstwowej.

202303061121351610a9b7fc6b401bb34eaf1612b007bd

Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd.jest globalnym dostawcą rzadkich części do obróbki tantalu, niobu, wanadu, cyrkonu i hafnu ze złota. Produkuje głównie druty, pręty, płyty, rury, pierścienie, tygle itp. oraz inne niestandardowe części do obróbki specjalnej. Będziemy regularnie publikować informacje związane z produktami naszej firmy i dyscyplinami materiałowymi, obejmujące cały łańcuch badań i rozwoju technologii materiałowej, industrializację osiągnięć materialnych, zastosowanie i promocję produktów materialnych, aglomerację przemysłu materiałowego i ekologię przemysłu materiałowego. Zapraszamy do kontaktu z nami w każdej chwili.